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2021年1月18日 (54)發明名稱 一種綠碳化硅焙燒合成設備 (57)摘要 本實用新型提供了一種綠碳化硅焙燒合成 設備,包括爐體(1),所述爐體(1)的少一側設 有噴淋機構,所述噴淋機構

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